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半导体材料与器件表征技术

  • 定价:99.8 元
  • 作者:(美)施罗德 著
  • 书号:978-7-5611-4138-0
  • 丛书名:
  • 千字:691
  • 页数:542
  • 开本:170mm*240mm
  • 出版日期:2008.06
  • 装帧:平装
  • 版次:0101
  • 备注:
详细信息
本书专门介绍半导体材料和器件表征技术,主要分为三个部分:电学表征、光学表征和物理表征。本书在国外被广泛选用为研究生专业课教材及工程技术人员的参考书,并在文献中被大量引用。
作者简介
图书目录
第1章 电阻率 第2章 载流子和掺杂浓度 第3章 接触电阻、肖特基势垒及电迁移 第4章 串联电阻、沟道长度与宽度、阈值电压及热载流子 第5章 缺陷 第6章 氧化物、界面陷阱电荷及氧化物完整性 第7章 载流子寿命 第8章 迁移率 第9章 光学表征 第10章 物理化学特性的表征

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